最新公告: 氦质谱检漏仪关键部件均为进口,性能稳定可靠。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪特点:1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;2.检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;3.不会受到主观因素判断的影响;4.检测的数据精准;5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。氦质谱
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核质谱检漏仪的三大故障及解决
点击次数:425 发布时间:2017-02-23
     核质谱检漏仪作为一种测量仪器,需根据设备的使用频率、被测品工艺要求定期使用标准漏孔对设备自身进行校准,以保证设备自身检测精度;我司标配的标准漏孔为一种渗氦型真空标准漏孔,标称漏率在1.6E-08级左右,其年漏率年衰减在5%。它是由离子源、分析器、接收器、真空系统、电子线路及其它电气部分组成。目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的。
    核质谱检漏仪的三大故障及解决:
    1、电泵故障及解决
    (1)电泵不举动。审查名目有:电源电压是否畸形,电门是否翻开,绕组是否断路或接地,电机是否过热(泵结冰后是否能启动)。
    (2)电泵音调异样。审查油位是否适合,油质是否变坏,油温是否<10℃,油雾过滤器的入口有无气体排出(那末无气体排出,更替油雾过滤器)。
    2、分子泵故障及解决
    (1)开机2min后压力批示灯不亮。此时候子泵未转动,即分子泵出口压力未到设定值或未检测到压力(通常压力应<10-3MPa,压力过高分子泵将无奈启动)。因而,重要审查招致压力过高的成分。审查的名目有:PI1真空规管是否有问题,分子泵入口是否翻开,电泵油是否太脏或电泵是否转动,零碎是否有透露。
    (2)分子泵减速批示灯不亮。CD2通路板上的保险丝烧断,更替保险丝或审查是否有短路景象。
    (3)分子泵故障灯亮。审查CD2通路板设置电门是否在于R地位,此时无须在N地位。审查风扇是否停留,那末风扇畸形,请和厂家联络。
    3、质谱室故障
    (1)真丝批示灯不亮。审查真丝开要害是否在于开放地位(再按一下),审查I/O短接插销是否仪器前面的接口。
    (2)真丝批示灯闪耀。用万用表审查质谱室飞行插座1和5接报柱是否开路,若开路,更替真丝;若不开路,审查接报柱6是否和其余接头导通,肃清短路景象.
    (3)遥控面板无压力批示。审查PI3规管是否有问题。
    (4)当检漏结束时压力不上升。审查通路板PO318保险丝是否有问题.
    (5)检漏口压力>0.01MPa。电泵油生效或PI3规管坏.
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